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一种纳米光学加速度计及其制备方法

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技术关键词: 光学加速度计 沉积氮化硅薄膜 电感耦合等离子体 纳米 光刻工艺
类型: 发明专利      状态: 在审
2025-06-25

排水管线寻路方法及其相关装置

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技术关键词: 终点 防火分区 染色体 寻路方法 排水管
类型: 发明专利      状态: 在审
2025-06-25