晶圆键合结构及其制造方法、芯片堆叠结构的制造方法、封装结构

AITNT-国内领先的一站式人工智能新闻资讯网站
# 热门搜索 #
晶圆键合结构及其制造方法、芯片堆叠结构的制造方法、封装结构
申请号:CN202510854981
申请日期:2025-06-24
公开号:CN120727586A
公开日期:2025-09-30
类型:发明专利
摘要
本申请实施例提供一种晶圆键合结构及其制造方法、芯片堆叠结构的制造方法、封装结构。其中,晶圆键合结构的制造方法包括:提供第一晶圆和第二晶圆;第一晶圆和第二晶圆包括多个芯片;形成覆盖第一晶圆和第二晶圆的第一面的第一介质层;以及形成贯穿第一介质层的第一导电结构;第一导电结构与第一介质层的侧壁和相应芯片的顶面接触;其中,第一介质层的顶面与第一导电结构的顶面之间具有第一高度差;形成覆盖第一介质层的顶面的第二介质层;其中,第二介质层的顶面与第一导电结构的顶面之间具有第二高度差;第二高度差的绝对值大于第一高度差的绝对值。
技术关键词
晶圆键合结构 导电结构 介质 芯片堆叠结构 机械抛光工艺 光刻胶图案 导电层 动态随机存取存储器芯片 互连结构 界面 封装结构 切割工艺 尺寸 焊盘 背对背 衬底