一种芯片表面缺陷视觉检测方法及系统

本发明公开了一种芯片表面缺陷视觉检测方法及系统，包括：通过量子成像增强模块动态适配表面反射率进行高灵敏度成像，结合事件驱动视觉与脉冲神经网络实现缺陷信号的稀疏化高效处理；基于实时生成的风险热力图智能调度检测精度与速度资源，并利用多模态特征解耦与联邦知识图谱精准关联缺陷与工艺根源；数字孪生模块同步预测缺陷演化路径，驱动工艺参数在线调优，同时动态补偿模块实时校正光学离焦。本发明实现了纳米级缺陷全检覆盖，在提升检测效率的同时主动阻断缺陷传递链，显著提升芯片制造良率与可靠性。