摘要
本发明涉及光学加工技术领域,尤其涉及一种分路设计的磁流变去除函数变化测量装置及方法,装置包括加工磁流变抛光系统、测试磁流变抛光系统、供给系统以及控制系统;加工磁流变抛光系统中机器人和加工磁流变抛光设备对光学元件进行加工,加工磁流变抛光设备实时测量加工过程中内部的磁流变液的流动情况;测试磁流变抛光系统中测试磁流变抛光设备对光学元件进行加工,并实时测量加工过程中内部的磁流变液的流动情况;供给系统同时向加工磁流变抛光设备和测试磁流变抛光设备提供磁流变液;方法中如果加工磁流变抛光系统发生磁流变液堵塞时,可用测试磁流变抛光系统中的管路替代,实现加工参数的一致以及加工状态因为管路堵塞暂停后的快速重启。