一种绝对湿度传感器及其制备方法

本发明公开了一种绝对湿度传感器及其制备方法，该传感器包括基板、盖帽及基底；盖帽盖合于基板的一端面，基底固定设置于基板朝向盖帽一侧的端面；盖帽与基底围合形成密封腔室；基底的两侧面分别向内凹陷形成凹槽，基底两侧的凹槽开口处分别设有支撑膜，支撑膜上均设有热敏电阻膜；支撑膜设有向外侧延伸的多个支臂，支臂的末端固定于基底的端面上；基底为双面对称结构；基板朝向基底的端面设有向内凹陷的避让槽，基板与凹槽相对的位置设有通气孔，通气孔与基底靠近基板一侧的凹槽相连通。上述传感器设置单腔室及对称结构的基底，以提高测量精度及抗温度干扰性；并且减小了传感器体积、节省了加工制造成本，提升了生产效率及产品一致性。