一种超精密加工表面质量预测和评价方法

本发明提出了一种超精密加工表面质量预测和评价方法，旨在解决现有技术中因忽略高频与低频振动导致的表面粗糙度预测不完整、加工条件优化困难的问题。方法包括：通过加工系统动力学模型获取低频粗糙度分量，通过刀‑工相对运动获取中频粗糙度分量，利用材料引起的高频振动与变形分析预测高频粗糙度分量，将多频段粗糙度分量叠加生成表面粗糙度预测图，并基于该图评估加工工件的面形误差和光散射程度。通过将评估结果与目标光学性能对比，优化加工参数，实现表面质量的精确控制。本发明能够快速、准确地预测超精密加工工件的表面粗糙度及其光学性能，为加工条件优化提供科学依据，适用于金属与非金属材料的超精密加工领域。