基于R-θ构型机器人的晶圆传输系统及其装配方法

本发明涉及半导体制造设备领域，尤其涉及基于R‑θ构型机器人的晶圆传输系统及其装配方法。包括机器人和晶圆舱室。其中，机器人包括主轴，所述主轴连接有手臂机构，所述手臂机构包括串联结构的手臂，所述手臂中的任意一个与主轴直接或传动连接；晶圆舱室供晶圆取放并环绕机器人设置为多个，所述手臂在主轴的带动下进行进出晶圆舱室的插补动作；所述手臂机构设置为多个，多个所述手臂机构沿同一竖直轴线与主轴的执行端转动连接。通过在主轴的同一竖直轴线上设置两个独立且可同时运动的手臂机构，系统能够并行执行两个晶圆的取放操作。相较于传统单臂系统，处理相同数量晶圆的所需时间大幅缩短，系统吞吐量显著提升。