一种光谱芯片及其制备方法

本申请涉及一种光谱芯片及其制备方法。该光谱芯片包括：衬底，包括光电传感层，其中光电传感层包括多个像素；光谱调制层，设置在光电传感层上，其中光谱调制层包括周期排列的滤光单元，每个滤光单元由多个滤光子单元组成，各个滤光子单元具有不同的透过率曲线；第一保护膜层，设置在光谱调制层上，其中第一保护膜层包括多个子保护膜层，对于同一滤光单元中的至少两个滤光子单元被同一子保护膜层覆盖。保护膜层设置于光电传感层和滤光子单元之上，避免滤光子单元厚度在后续清洗过程中减薄至小于其预设厚度范围，导致无法获得理想的预设透过率曲线,同时避免光电传感层和已完成滤光子单元在制备待完成滤光子单元的步骤中因环境等因素受到破坏。