一种光子晶体面发射激光器及其散热系统

本申请提供了一种光子晶体面发射激光器及其散热系统，该光子晶体面发射激光器包括芯片和热沉。其中，芯片包含依次堆叠的半导体衬底、有源层以及光子晶体层；热沉具有用于输送冷却液的冷却液流道；光子晶体层内形成有多个微结构孔洞，多个微结构孔洞的排布方式构成用于实现激光出射的光子晶体结构；芯片以倒装方式贴装于热沉上，多个微结构孔洞的开口与热沉的冷却液流道实现流体连通，以允许冷却液直接流入多个微结构孔洞内，从而构成用于带走有源层热量的散热通道。