摘要
本发明提供一种材料表征图像分析系统及其分析方法。材料表征图像分析系统及其分析方法,包括以下步骤:S1:通过扫描电镜获取材料的背散射电子图像、二次电子图像及能谱数据,并基于预设的材料类型和观测目标,采用参数优化算法动态调整扫描电镜的加速电压、束流及探测器增益;S2:对背散射电子图像和二次电子图像进行多尺度特征增强预处理,包括噪声抑制、非均匀照明校正及微区纹理强化;S3:将背散射电子图像与能谱元素分布图进行像素级空间配准,构建多模态融合特征矩阵。本发明提供的材料表征图像分析系统及其分析方法具有能够较好的解决失真问题、能够提高微结构识别准确率、能够降低寿命预测误差的优点。