一种纳米级气浮直驱转台

本发明公开了一种纳米级气浮直驱转台，本发明涉及精密机械加工与测量设备技术领域。包括底座，所述底座的顶端两侧均固定连接有连接座一，靠一侧的所述连接座一的顶端固定连接有驱动电机一，所述驱动电机一的外壁一侧固定连接有电机固定板，且所述驱动电机一的输出端贯穿有电机固定板，靠另一侧的所述连接座一的顶端固定连接有限位传动块，本发明纳米级气浮直驱转台，其通过双电机驱动和全方位气浮支撑系统，实现了纳米级的定位精度，满足半导体芯片制造、精密光学加工等高端领域对高精度旋转运动的严格要求，并且保证了转台在长时间使用过程中的稳定性和可靠性，特别适用于对环境要求苛刻的洁净室和高精度加工环境。