像元桥面、像元结构及其制备方法、以及非制冷红外芯片

本发明涉及一种像元桥面，包括层叠设置的第一导电层以及敏感层，第一导电层包括与敏感层电连接的两个电极，每个电极包括并联的若干电阻，敏感层采用VxOy材料。还提供一种像元结构，包括桥腿、像元桥面以及用于支撑桥腿的第二支撑腿，像元桥面由第一支撑腿支撑于桥腿上。还提供一种非制冷红外芯片以及一种像元结构的制备方法。本发明导电层的电极采用并联的若干电阻，可以降低读出电路获取的敏感层材料的阻值，突破了读出电路对于VxOy材料的限制，使得能够采用高阻抗高TCR的氧化钒材料，氧化钒材料电阻率提高的倍数与导电层并联的电阻数量相关，TCR可从2.0%提高到2.3%，从而能够提升产品的性能和均匀性，而对于非制冷红外芯片的响应率可提高15%。