一种芯片光刻胶剥离液及其制备方法与用途

申请号：CN202510918401

申请日期：2025-07-03

公开号：CN120610450A

公开日期：2025-09-09

类型：发明专利

摘要

本发明涉及一种芯片光刻胶剥离液及其制备方法与用途，其中芯片光刻胶剥离液，按照重量份计算包括如下组分：有机磺酸15‑50份；非极性有机溶剂20‑60份；极性有机溶剂20‑60份；功能剂3‑15份。本发明采用功能剂12‑羟基‑十二烷酸(4‑乙烯基苯基)甲酯和2‑(双(吡啶‑2‑基甲基)氨基)‑2‑(羟甲基)丙烷‑1,3‑二醇协同，提高金属缓蚀能力。

技术关键词

光刻胶剥离液清洗半导体芯片十二烷基苯磺酸乙苯二乙基二甲基乙酰胺丙烷二甲基甲酰胺吡啶十氢萘二醇氨基辛基吡咯烷酮