一种基于级联微环谐振腔的窄线宽激光器

本发明属于光通信技术领域，具体为一种基于级联微环谐振腔的窄线宽激光器。本发明激光器包括半导体激光器内腔模块、增益芯片模块、相移器、级联微环谐振腔模块、热调谐模块和外腔反射镜；增益芯片通过异质集成在硅波导顶部结合III‑V族材料，并采用InAlGaAs量子阱提供高增益；相移器用于激射波长与谐振波长的匹配；级联微环谐振腔由三个微环级联组成，基于游标效应实现激光器的调谐；热调谐模块由三个半环形金属条和一个直波导形金属条构成；外腔反射镜模块采用Sagnac环结构；激光器内腔、增益芯片、级联微环谐振腔和外腔反射镜均采用硅波导直接相连。本发明激光器具有窄线宽、调谐范围广的特性，易于高度集成互连，具有重要应用价值。