摘要
本发明涉及晶体管线形变化检测技术领域,公开了一种基于混合模型的晶体管线形变化AI检测方法,该方法包括:获取晶体管线形样本图像数据并进行预处理,构建包含并联特征提取组件和串联分类决策组件的混合模型架构;利用预处理数据训练优化模型,确定目标混合检测模型;将实时图像数据输入模型,通过特征提取组件提取空间分布和形状轮廓特征,经分类决策组件融合后判断线形变化类型,输出检测结果。本发明通过混合模型架构实现多维度特征协同提取与动态融合,解决了传统单一模型检测精度不足的问题,提升了晶体管线形变化的自动化检测效率和准确性。