一种COC芯片气动测试装置及控制方法

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一种COC芯片气动测试装置及控制方法
申请号:CN202510937747
申请日期:2025-07-08
公开号:CN120652262A
公开日期:2025-09-16
类型:发明专利
摘要
本发明公开了一种COC芯片气动测试装置及控制方法,包括,面板,底部设置有升降机构,用于驱动面板在竖向往复移动;支撑架,设置于面板的上板面,所述支撑架上设置有气缸组件,气缸组件的伸缩端的移动方向与面板的升降方向相平行,气缸组件的伸缩端连接有探针;限位板,设置于面板上,用于固定待测产品,所述探针竖向的正投影完全处于限位板的板面上。本发明通过升降机构驱动面板以及气缸组件驱动探针,升降机构与气缸组件在相平行的方向上进行位移,从而保证探针最终定位精准,进而使得探针与待测产品以稳定压力接触,保证检测过程不会出现压伤产品的情况,且检测结果精准有效。
技术关键词
气动测试装置 气缸组件 半导体制冷板 面板 升降机构 芯片 待测产品 冷却组件 气动换向阀 压伤产品 行程 压力传感器 板面 调节滑台 滑台气缸 检测探针 金属电极