一种光子晶体缺陷波导与光电晶体管集成芯片

本发明涉及光学技术领域，提出一种光子晶体缺陷波导与光电晶体管集成芯片，其包括：光子晶体缺陷波导模块，包括一对相对设置的光子晶体阵列，其间形成线缺陷波导通道，光子晶体阵列包括周期性排列的纳米空气孔，线缺陷波导通道的宽度沿光传播方向线性渐变，且输入端宽度基于纳米空气孔的周期与直径确定；光电晶体管模块，包括晶体管条形部分，晶体管条形部分设有侧面入射窗口，晶体管条形部分的横向宽度与线缺陷波导通道的输出端宽度相同，并且线缺陷波导通道的输出端与侧面入射窗口居中对齐。本方案实现了光子晶体波导与侧面入射光电晶体管的高效、低损耗单片集成耦合。