一种基于光学系统的微流控芯片平面度检测装置及方法

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一种基于光学系统的微流控芯片平面度检测装置及方法
申请号:CN202510946870
申请日期:2025-07-10
公开号:CN120445110B
公开日期:2025-08-29
类型:发明专利
摘要
一种基于光学系统的微流控芯片平面度检测装置及方法,涉及光学仪器领域。解决了现有技术无法检测微流控芯片内部流道和检测腔的平面平整度,导致检测结果稳定性不足等问题。且现有的装置需依赖光学干涉、显微成像等技术实现。所述装置包括杠杆千分表、微流控芯片、中空轴旋转平台等;杠杆千分表在微流控芯片上方并设置观察值,使杠杆千分表与微流控芯片表面接触;杠杆千分表与中空轴旋转平台分别安装在光学平板上;光学调整架与镜面模块中的所有镜面分别安装;镜面模块的分光镜、补偿板和反射镜与光源安装在同一水平面;观察屏安装在光学调整架上;同时所有光学调整架分别安装在光学平板上;本发明还适用于医疗、环境监测等应用领域。
技术关键词
平面度检测装置 反射镜 旋转平台 光学平板 光学系统 分光镜 中空轴 干涉条纹 调节旋钮 检测微流控芯片 镜面 杠杆 磁力座 减震脚垫 光源 数显千分表 驱动微流控芯片 平面度检测方法