摘要
本发明属于精密制造相关技术领域,具体涉及一种密封腔体内水氧去除方法及系统,包括:目标密封腔体是通过在仿真软件中仿真确定;对目标密封腔体预真空抽气,至腔体内压力值不大于腔体真空压力阈值;采用压力循环的方式向目标密封腔体内输入置换气体,所需的循环次数、置换气体输送所需压力通过已训练的用于预测该腔体内相对置换气体输入时的未来某一时刻水氧含量的预测模型,通过寻优算法,确定用户期望时间内腔体内水氧含量低于第二目标水氧含量对应的循环次数、置换气体输送所需压力;对密封腔体内的气体进行深度净化,使得水氧含量均小于第三目标水氧含量;之后实时监测密封腔体内的水氧含量,以动态调整。本发明能高效去除腔体内水氧。