一种硅桥封装结构及其对应的封装方法

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一种硅桥封装结构及其对应的封装方法
申请号:CN202510952371
申请日期:2025-07-10
公开号:CN120834107A
公开日期:2025-10-24
类型:发明专利
摘要
本发明提供了一种硅桥封装结构,其降低了有机中介层的厚度,且降低了工艺流程的复杂度、并降低了封装成本。其包括:有机中介层,其包括设置于下表面的下凸的金属凸块、以及多层的金属线路层,所述金属线路层对应于有机中介层的上表面设置用于连接芯片的金属微凸点结构;有机载板,其包括设置于上表面若干第一金属焊盘、以及设置于下表面的第二金属焊盘;功能芯片;以及硅桥芯片。
技术关键词
金属微凸点 金属线路层 中介层 封装结构 封装方法 封装单元 多芯片集成封装 释放层 焊盘 倒装焊接工艺 底部填充工艺 拆键合工艺 倒装工艺 塑封工艺 芯片焊接 胶水 玻璃 凸块 晶圆