一种用于多子束低阶像差校正的控制方法及装置

本发明公开了一种用于多子束低阶像差校正的控制方法及装置，属于波前校正技术领域，该方法包括：使用哈特曼波前传感器采集得到光斑阵列图像中待校正波前在X和Y方向的波前斜率；定义子束对应子孔径筛选矩阵及子束闭环选择矩阵，根据子束闭环选择矩阵及子束对应子孔径筛选矩阵对阵列光束进行区域划分，并对探测到的波前斜率进行分区处理；根据波前复原算法解算得到需要闭环的子束的像差校正计算电压；通过PI控制得到子束在第次迭代的控制电压，根据子束闭环选择矩阵得到系统控制电压，实现子束并行闭环控制。本发明仅用一次乘法运算就可实现单个、多个子镜独立或协同控制，减小了系统运算的计算量，提升了校正速率。