一种超纯氮气生产的纯度检测系统

本发明公开一种超纯氮气生产的纯度检测系统，包括样气采集处理模块用于采集生产的氮气样气并进行三级净化后输出，多模态检测模块基于多个不同的检测结构检测氮气中掺杂的杂质，处理控制模块接收多模态检测模块传回的检测信号并基于支持向量机算法对其进行交叉干扰校正计算氮气纯度，在线校准模块用于对传感器参数进行定时校准，互交通信模块用于显示实时数据、接收报警指令并与外部系统通信；本发明集成了多模态检测数据的检测处理，可同时检测氮气中的多种杂质，结合数据修正，可以有效消除传感器的交叉干扰，并通过三级预处理确保样气清洁度，避免污染导致的测量偏差，且系统实现了实时在线监测，检测结果可以及时反馈。