一种微机电系统的薄膜声振传感器状态评估方法及装置

本发明实施例提供了一种微机电系统的薄膜声振传感器状态评估方法及装置，具体为：根据在不同损伤状态下的MEMS薄膜声振传感器微纳尺度数据动态响应进行耦合建模，建立损伤指纹矩阵；根据MEMS薄膜声振传感器的历史加速老化数据与运行数据进行动态迁移学习，建立数字孪生评估引擎；获取对应于目标MEMS薄膜声振传感器的目标微纳尺度动态响应数据、目标现场运行数据以及目标工况数据；通过损伤指纹矩阵、数字孪生评估引擎以及工况上下文对目标微纳尺度数据、目标现场运行数据以及目标工况数据进行决策优化，得到对应于目标MEMS薄膜声振传感器的动态健康指数与自主维护指令集。通过多物理场耦合建模、数字孪生引擎，实现传感器评估。