晶圆键合缺陷检测方法、装置、计算机设备及存储介质

本申请公开了一种晶圆键合缺陷检测方法、装置、计算机设备及存储介质，属于晶圆检测技术领域。所述方法包括：将原始采集图像输入实例分割模型进行分割处理，识别晶圆键合界面的缺陷对象并生成边界分割掩码；对边界分割掩码进行补充验证，修正误分割区域并优化边界精度，得到优化后的分割结果；基于优化后的分割结果，提取缺陷对象的几何特征信息和形态特征信息；基于几何特征信息和形态特征信息进行缺陷判别处理，输出晶圆键合界面的缺陷检测报告。本申请提供的技术方案能够对晶圆键合界面进行高准确率、高效率的缺陷检测。