一种石英坩埚出厂质量智能视觉全检系统

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一种石英坩埚出厂质量智能视觉全检系统
申请号:CN202510978484
申请日期:2025-07-16
公开号:CN120870124A
公开日期:2025-10-31
类型:发明专利
摘要
本发明公开了一种石英坩埚出厂质量智能视觉全检系统,属于石英坩埚质量检测技术。本发明通过第一设备和第二设备获取坩埚的二维表面图像和二维分层图像;数据采集单元采集这些数据,用于为缺陷检测单元和微气泡检测单元提供数据依据。由于缺陷检测单元需要检测多种缺陷类别,因此,该缺陷检测模型根据改进的YOLOv11模型构建;而微气泡检测单元的气泡检测模型检测的缺陷只有一类,气泡检测模型根据YOLOv11模型进行构建。以此在保障检测精度的同时,降低系统的整体开销。透明层气泡检测单元通过相似气泡融合消除重复计数的气泡,以此保障气泡数量的可靠性;可视化单元通过将物理参数与视觉数据的融合,为坩埚质量评估提供了可靠依据。
技术关键词
气泡 石英坩埚 缺陷检测单元 数据采集单元 透明层 可视化单元 机械臂 深度坐标值 视觉 缺陷类别 图像采集组件 包胶滚轮 工业相机 坩埚内壁 光源设备 检测相机