一种用于两组晶圆缺陷点坐标的匹配方法及相关产品

本申请公开了一种用于两组晶圆缺陷点坐标的匹配方法及相关产品，可应用于半导体技术领域，该方法包括：获取第一索引数组和第二索引数组；第一索引数组对应第一晶圆的一组缺陷点测量结果，第二索引数组对应第一晶圆的另一组缺陷点测量结果；基于二分法从第二索引数组中确定与第一索引数组中的参考点索引对应的候选点索引集合；从候选点索引集合中确定与参考点索引对应的目标点索引；若目标点索引对应的最近邻点同样与参考点索引对应，则将目标点索引与参考点索引进行匹配。如此，结合索引数组与一对多匹配的快速计算方法，消除了匹配过程中的内存拷贝与冗余计算，提高了晶圆缺陷点坐标的匹配效率。