一种负型LDI光刻胶树脂改性系统

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一种负型LDI光刻胶树脂改性系统
申请号:CN202510999852
申请日期:2025-07-21
公开号:CN120832820A
公开日期:2025-10-24
类型:发明专利
摘要
本发明涉及光刻胶树脂改性技术领域,公开了一种负型LDI光刻胶树脂改性系统,该系统包括目标树脂特征采集模块、历史特征信息聚类模块、历史改性参数集合优化筛选模块、改性趋势预测模块、动态修正模块和改性方案生成模块。系统通过采集目标树脂的工艺特征和历史改性数据,对历史数据进行聚类分析,提取官能团信息和改性参数集合,优化筛选后生成历史改性参数序列。改性趋势预测模块基于样本数据分类预测增益率和衰减率,动态修正模块根据当前工艺特征与历史数据的偏差修正预测结果,最终生成改性方案提示。本发明实现了树脂改性的精准化和动态化,提升了改性效率和稳定性,适用于高性能光刻胶树脂的优化领域。
技术关键词
光刻胶树脂 工艺特征 改性系统 参数 样本 官能团 模块 序列 决策 层次聚类算法 基础 改性技术 偏差 时序 索引 动态 数据分类