红外线性渐变滤光片及其制备方法

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红外线性渐变滤光片及其制备方法
申请号:CN202511013871
申请日期:2025-07-23
公开号:CN120519858B
公开日期:2025-09-23
类型:发明专利
摘要
本发明涉及滤光片技术领域,提供了一种红外线性渐变滤光片及其制备方法,制备方法包括以下步骤:提供基板;在基板的上表面进行第一次镀膜形成第一反射层;在第一反射层的上表面进行第二次镀膜形成间隔层,间隔层的横截面呈楔形结构,楔形结构的厚度沿预设方向呈线性增大;在间隔层的上表面进行第三次镀膜形成第二反射层,得到红外线性渐变滤光片;其中,第二反射层远离基板的表面用于接收入射光,基板远离第一反射层的表面用于发射透射光;第二反射层为第一折射率材料膜层与第二折射率材料膜层交替叠层制成。本发明的红外线性渐变滤光片能连续动态调节光谱分辨率,波长适应广泛。
技术关键词
渐变滤光片 楔形结构 二氧化钛材料 二叉树模型 磁控溅射镀膜工艺 间隔层 布拉格反射镜 基板 滤光片技术 珀罗谐振腔 四分之一波长 氮化硅材料 透射光 二氧化硅 叠层 线性 图案