一种光束波前测量装置、光束波前测量装置的控制方法

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一种光束波前测量装置、光束波前测量装置的控制方法
申请号:CN202511020564
申请日期:2025-07-24
公开号:CN120521741B
公开日期:2025-11-28
类型:发明专利
摘要
本发明提供了一种光束波前测量装置、光束波前测量装置的控制方法、激光系统以及电子设备。本发明通过引入第一调节模块和第二调节模块,能够精确调节传感模块的高度和姿态,从而实现对大尺寸光束的高精度波前测量。在不同高度采集到的多个哈特曼点阵图通过拼接处理,能够生成尺寸更大的完整哈特曼点阵图,从而突破了单个哈特曼波前传感器因感测尺寸限制所导致的波前测量分辨率不足的问题。此外,控制模块的精确控制和拼接算法的优化,使得拼接后的点阵图在重叠区域的连接更加平滑,保证了测量结果的准确性和连续性,从而提高了大尺寸光束的波前测量精度和可靠性。
技术关键词
传感模块 子孔径图像 质心偏移量 光束 控制模块 旋转平台 哈特曼波前传感器 尺寸 拼接算法 激光系统 生成控制信号 微调平台 平行光管 处理器 电子设备 存储器 精度 连续性 分辨率