基于离散超原子的红外探测器、制备方法及光谱重构方法
申请号:CN202511023171
申请日期:2025-07-24
公开号:CN120916505A
公开日期:2025-11-07
类型:发明专利
摘要
本发明涉红外探测技术领域,提供了一种基于离散超原子的红外探测器、制备方法及光谱重构方法,包括多个探测器像元,所述探测器像元包括设置在衬底正面的二类超晶格红外探测器像元和设置在衬底背面的离散超原子超表面单元;所述离散超原子超表面单元由周期性排布的离散化金属微纳结构构成,用于对入射的红外光谱进行调制,生成红外编码光谱;其中各个探测器像元的离散超原子超表面单元生成的红外编码光谱具有低相关性;所述二类超晶格红外探测器像元,用于接收和其对应的离散超原子超表面单元生成的红外编码光谱,并基于该红外编码光谱的强度输出相应的电信号。本发明实现高能量利用率和低相关性的探测器构建。
技术关键词
金属微纳结构
红外探测器
超表面
光谱重构方法
对准标记
分子束外延系统
衬底
电子束曝光技术
编码
缓冲层
棱柱结构
基追踪算法
盖帽层
红外探测技术
p型接触层
金属接触层
探测器结构