基于算法融合与自适应调节的颗粒缺陷检测系统与方法

本发明公开了一种基于算法融合与自适应调节的颗粒缺陷检测系统与方法，涉及半导体制造检测技术领域，包括图像采集模块、算法融合处理模块、自适应调节模块以及缺陷识别模块，通过采集检测对象低分辨率图像，并进行原始数据预处理；对获取的低分辨率图像特征进行深度挖掘、算法融合后输出高分辨率图像；接收环境数据，根据采集到的数据自适应调节系统多种参数；结合自适应调节后的参数对所述高分辨率图像进行颗粒缺陷的识别与分类；解决了现有技术中颗粒缺陷检测精度不足、环境适应性差的技术问题，确保在不同环境条件下重建图像细节均能清晰。