摘要
本发明提供了环境敏感型探测器加工环境优化方法及系统,涉及加工控制优化领域,以环境敏感型探测器的P个关联加工工序为约束回溯得到多组样品工序环境参数集后进行特征重要性分析得到W组性能关联工序,以P个基准工序环境参数集为起点,调用性能预测模型对W组性能关联工序执行闭环迭代寻优,直至输出满足目标性能向量的P个优化工序环境参数集。解决了现有技术存在对于加工环境的控制有效性较弱,导致影响环境敏感型探测器产出质量稳定性的技术问题。通过工序级分组闭环优化与梯度约束迭代优化环境敏感型探测器加工环境,达到了有效抑制加工环境对于环境敏感型探测器产出品控的干扰,保障环境敏感型探测器产出品控稳定性的技术效果。