氧化腐蚀产物沉积层内硼分布检测方法

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氧化腐蚀产物沉积层内硼分布检测方法
申请号:CN202511046952
申请日期:2025-07-29
公开号:CN120891024A
公开日期:2025-11-04
类型:发明专利
摘要
一种氧化腐蚀产物沉积层内硼分布检测方法,利用瞬发伽马活化技术探测氧化腐蚀产物沉积层内部的硼元素的总质量;根据中子照相获得腐蚀产物沉积层几何边界,根据氧化腐蚀产物产生的瞬发伽马射线与康普顿照相单元作用产生的康普顿散射信息,在中子照相得到的几何边界内构建康普顿圆锥,重构伽马射线的起源,再采用随机起源集合算法进行像素化图像重建,获得伽马射线生成的分布图像,从而得到氧化腐蚀产物沉积层内硼元素的比例分布。根据得到的硼元素总浓度和硼元素比例分布,计算出氧化腐蚀产物沉积层内的硼元素浓度分布,改进了现有方法仅能测量腐蚀产物沉积层表面有限深度内的硼元素分布,无法获得内部的元素分布信息的不足。
技术关键词
分布检测方法 中子照相技术 元素 高纯锗 图像重建 瞬发伽马射线 分布检测系统 探测单元 中子注量率 同位素丰度 分布直方图 重构 算法 像素 代表 探测器 成像 电子