一种芯片制造用节能型精准恒温制冷装置

本发明涉及制冷装置领域，尤其涉及一种芯片制造用节能型精准恒温制冷装置，磁悬浮离心式冷水机组的一侧设置有预冷水箱，磁悬浮离心式冷水机组的冷凝器排水管通过进水通道连通至预冷水箱内，并且进水通道内设置有两个连通口；预冷水箱内分别开设有上水槽和下水槽，并且上水槽和下水槽之间通过下溢流口单向流通冷却水。本发明中，通过磁悬浮离心式冷水机组可以将冷冻水换热后输送至客户端以实现恒温制冷，通过预冷水箱可以对冷却水进行预降温，以降低冷却水进入冷水塔时的温度，这样可以有效的降低冷水塔对冷却水的处理负荷，以降低冷水塔的功耗，从而降低本装置的整体功耗，以实现节能的效果。