一种光刻胶及其制备方法

本发明涉及光刻胶技术领域，具体提出了一种光刻胶及其制备方法，本发明的光刻胶原料包括酚醛树脂、重氮萘醌光敏剂、苯基磷酸三苯酯和溶剂，通过特殊的聚合物、增感剂和溶剂的组合，优化了曝光后图案的稳定性和清晰度。实施例中，配方的灵敏度范围在55mJ/cm2到120mJ/cm2之间，分辨率达到0.05μm，毛刺控制在0.05μm以下。此技术可广泛应用于半导体芯片制造、微电子封装、显示器件以及纳米技术领域，满足高精度、高效率的生产需求，具有良好的市场前景和商业应用价值。