摘要
本申请公开了一种用于阵列光波导平行度检测系统及方法，包括以下步骤：光学干涉测厚装置、软件控制模块与算法模块；光学干涉测厚装置包括干涉仪、运动平台、阵列光波导载具，干涉仪控制器与上位机；干涉仪配合设置在运动平台上，干涉仪包括干涉仪探头，阵列光波载具上设置有待测阵列光波导，待测阵列光波导设置在干涉仪探头下方；软件控制模块与运动平台电性连接，软件控制模块用于控制运动平台沿X轴、Y轴与Z轴移动；待检测光波导包括多层叠片，干涉仪测量每层叠片的厚度数据，根据厚度数据分析每个半透半反射面之间的平行度数据,基于光学干涉测厚装置，使用干涉仪可一次性测量出阵列光波导叠片的多层厚度数据，厚度测量精度达到亚微米。
