一种光学元件机器人末端多模块力控抛光装置

本发明属于机器人抛光技术领域，公开了一种光学元件机器人末端多模块力控抛光装置，本发明力控执行响应精度和速度突破传统限制：本发明采用音圈电机替代传统“伺服电机+滚珠丝杠”结构，直接驱动实现毫秒级动态响应与亚微米级力控精度，显著提升了高频动态加工过程中的响应带宽与压力稳定性，解决了传统刚性结构力控延迟、易超调的问题。高刚度多导轨结构提升结构稳定性与抗干扰能力：通过设计重力平衡导轨与直线滑轨的双重嵌套支撑方式，形成多导轨高刚度结构，使力控模块在振动激励工况下依然具有出色的抗扰能力，克服了传统装置在共形振动加工中结构易受激而产生附加振动的问题。