半导体器件和芯片
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半导体器件和芯片
申请号:
CN202511064711
申请日期:
2025-07-31
公开号:
CN120568836A
公开日期:
2025-08-29
类型:
发明专利
摘要
本公开的实施例提供一种半导体器件和芯片,涉及半导体技术领域,用于实现增强型和耗尽型的单片集成;该半导体器件包括衬底、沟道层、势垒层、栅极层、第一帽层和第二帽层;沟道层和势垒层层叠设置于衬底上,势垒层相比沟道层远离衬底;栅极层设于势垒层远离沟道层的一侧;栅极层包括间隔设置的第一栅极和第二栅极;第一帽层设于第一栅极与势垒层之间;第二帽层设于第二栅极与势垒层之间;其中,势垒层位于第一帽层与沟道层之间的厚度,小于,势垒层位于第二帽层与沟道层之间的厚度。上述半导体器件应用于芯片中。
技术关键词
半导体器件
势垒层
栅极
隔离结构
衬底
封装基板
凹槽
尺寸
芯片
台阶
单片
间距
层叠