基于微小气体流量控制的自抗扰控制参数整定方法与装置

基于微小气体流量控制的自抗扰控制参数整定方法与装置，属于气体流体控制、精密气动系统与嵌入式控制技术领域。本发明方法通过构建微流量控制元件模型，设定控制性能指标，以智能寻优算法自动调整自抗扰控制器参数，轻量化部署于实际流量控制系统中，实现微小气体流量系统控制器参数的高效配置、实时适应与高性能运行，实现微小流量控制快速响应与高稳定性。本发明装置包括气源、压力控制器、微处理器、流量控制阀、流量传感器。气源出口连接压力控制阀用以稳定流量控制阀入口压力，流量控制阀出口连接流量传感器，流量传感器信号输出接口连接微处理器的输入接口，微处理器的输出接口连接流量控制阀电压输入接口，用于调节流量控制阀的开度大小。