基于数字孪生的薄膜涂层加工工艺仿真与优化系统

本发明属于技术领域，本发明公开了基于数字孪生的薄膜涂层加工工艺仿真与优化系统；由数据采集模块、特征识别与分析模块、行为数字孪生模拟模块、涂层均匀性评估模块、工艺参数优化模块及涂层分布预测模块组成。通过获取基材三维粗糙度数字模型，精确识别微米级局部粗糙区域并提取其几何特征参数；基于几何特征参数和工艺参数构建涂层生长行为数字孪生模型，精确模拟局部粗糙区域的涂层生长过程；建立全局涂层均匀性定量评价体系，应用机器学习和遗传算法优化工艺参数组合。系统突破了传统静态阴影假设的局限性，实现了沉积过程中微观形貌演变的实时跟踪与精确模拟，显著提高了涂层生长预测准确性。