一种基于显微成像的氧化镓晶体缺陷检测方法及系统

本发明公开了一种基于显微成像的氧化镓晶体缺陷检测方法及系统，涉及量子缺陷检测技术领域，包括，对表面增强型氧化镓晶体施加交变电场并照射纠缠光子源，生成多模态量子激发场，并利用蜂窝边界态局域场，激发缺陷处的载流子跃迁，生成量子激发信号；基于缺陷三维坐标及缺陷载流子复合寿命计算缺陷活性系数，并通过伪彩色映射，生成缺陷活性分布热力图；通过双通道卷积神经网络，对缺陷活性分布热力图进行缺陷活性深度判据与缺陷形貌关联分析，输出氧化镓晶体缺陷多维度报告；本发明通过双通道神经网络对缺陷进行深度分析，实现了缺陷形貌特征与载流子动力学行为的协同解析。