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集成芯片及其形成方法
申请号:
CN202511084559
申请日期:
2025-08-04
公开号:
CN121013437A
公开日期:
2025-11-25
类型:
发明专利
摘要
本公开的各个实施例针对集成芯片(IC)。IC包括:衬底,包括第一材料。半导体层位于衬底上,并且包括与第一材料不同的第二材料。缓冲层布置在半导体层和衬底之间。缓冲层包括第一材料和第二材料。本申请的实施例还涉及集成芯片及其形成方法。
技术关键词
集成芯片
衬底
半导体层
缓冲层
缓冲膜
中间层
限定凹槽
隔离结构
外延
比率