一种基于ATE的毫米波芯片幅相测量装置及方法

本发明涉及半导体自动测试技术领域，揭示了一种基于ATE的毫米波芯片幅相测量装置及方法，装置包括ATE计算机，与所述ATE计算机连接的ATE通道板卡和ATE测量仪器，以及负载板，所述ATE测量仪器包括ATE信号源和ATE信号分析仪，所述负载板上设有待测毫米波芯片和射频开关，所述待测毫米波芯片的控制端口与所述ATE通道板卡连接，所述射频开关的多个射频端口分别与所述待测毫米波芯片的多个信号端口连接，所述射频开关的综合射频端口与所述ATE测量仪器连接。所述方法通过ATE测量仪器与通道板卡的协同工作，使用精确的时序控制实现了毫米波芯片挡位和端口的快速切换，采用统一采集并分段处理的方式，大大提高测量效率。