基于IMP的智能束流调校方法、装置、设备及存储介质

本发明涉及信息处理技术领域，尤其涉及一种基于IMP的智能束流调校方法、装置、设备及存储介质，通过KVM切换器实时获取每台IMP机台的操作界面图像，利用OCR视觉算法识别并提取操作界面图像中的当前束流参数和实时状态标识，获取当前晶圆批次号的工艺要求数据，将参数及状态数据和工艺要求数据进行整合，对整合数据进行数据清洗和归一化处理，得到预处理数据集，利用AI决策模型基于预处理数据集分析当前机台束流状态与目标工艺要求的差异信息，并根据差异信息计算出最优束流调校参数，提高调校精准度，适配复杂工艺要求，根据最优束流调校参数生成控制指令，IMP机台根据控制指令调整相关硬件模块参数，提升智能化水平。