一种新型芯片及其成型方法

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一种新型芯片及其成型方法
申请号:CN202511116315
申请日期:2025-08-11
公开号:CN120756207A
公开日期:2025-10-10
类型:发明专利
摘要
本申请涉及一种新型芯片及其成型方法,其包括:主体板,主体板的顶面开设有流道,流道的末端的底部开设有贯穿的出液孔,流道的进液端与外部供液装置连通;顶板,顶板顶面成型有压电结构,顶板贴合于主体板顶面,顶板封堵流道的顶部开口,且压电结构的作用端处于流道的正上方布置;底板,底板上开设有喷射孔,底板贴合于主体板的底面,且喷射孔与出液孔连通,出液孔的横截面面积大于喷射孔的横截面面积,喷射孔在主体板底面的正投影全部落入出液孔内。本申请通过在主体板顶面开设流道,并通过结合顶板封堵流道顶端并作为振动板,从而保证主体板的表明光滑度,从而保证结合质量以及各结构的成型质量。
技术关键词
新型芯片 压电结构 成型方法 横截面面积 限流结构 筛选结构 流道 SOI硅片 供液装置 顶板 底板 压电薄膜层 电极 功能液 振动板 挡块 径流 顶端