多工位治具的精密定位方法及系统

本发明涉及精密定位技术领域，公开了一种多工位治具的精密定位方法及系统，该方法包括：对多工位治具系统中各工位的实时位置测量数据进行误差传播链建模，得到工位间误差传播链数据模型；基于所述工位间误差传播链数据模型对治具间隙变化数据进行递归最小二乘估计，得到各工位的治具间隙补偿参数；根据所述治具间隙补偿参数对多工位误差状态进行耦合李雅普诺夫函数同步收敛分析，生成工位间同步收敛控制指令；基于所述工位间同步收敛控制指令进行热变形预测补偿，得到累积误差补偿数据，本发明能够在线识别治具磨损、温度变化导致的间隙参数变化，实现了多工位治具系统的高精度实时定位。