一种氧化镓衬底表面研磨形貌预测方法及系统

本发明公开了一种氧化镓衬底表面研磨形貌预测方法及系统，涉及无损检测技术领域，包括，采集表面荧光分布图像并匹配预构建的荧光‑裂纹映射数据库，生成二维裂纹深度分布云图；基于预设裂纹深度阈值在二维裂纹深度分布云图中标记风险区域坐标集；将风险区域坐标集输入贝塞尔光束层析扫描仪进行多角度穿透式扫描，并同步采集扫描产生的散射图像，融合散射图像生成亚表面损伤三维模型；将二维裂纹深度分布云图与亚表面损伤三维模型进行数据配准与权重叠加，输出形貌预测报告及研磨工艺优化参数。本发明贝塞尔光束层析扫描与多角度散射图像融合技术构建亚表面损伤三维模型，实现了对氧化镓衬底内部微裂纹与损伤分布的高分辨率可视化重构。