多机器人协同的半导体物料调度方法及系统

本发明公开了多机器人协同的半导体物料调度方法及系统，涉及机器人协同技术领域。方法包括：构建调度预测模型，利用回归网络生成初始分配及路径规划方案；结合运输需求参数计算调度效率系数，通过动态调整系数分区匹配资源状态，其中资源过剩区降载、匹配区维持、紧张区应急扩容并触发备用机器人；实时比对路径冲突、延迟时间、利用率与标准值的差异，采用动态权重算法生成比对结果CR，权重随冲突次数和延迟比例自适应增强；基于比对结果通过校正模型调整路径及节奏，若CR未达阈值则迭代优化，无改善时启动异常处理。该方法通过数据驱动预测、动态资源适配、实时反馈校正及容错机制，提升半导体物料调度效率与可靠性，满足高精度制造需求。