一种可变方位角的波片椭偏仪及其测量方法

本发明涉及椭偏仪技术领域，公开了一种可变方位角的波片椭偏仪及其测量方法，该波片椭偏仪包括：起偏臂调制单元，包含光源和起偏器，且起偏器位于光源右侧；样品台，用于放置待测样品；检偏臂调制单元，包含补偿器和检偏器；图像传感器，用于对检偏器的出射光束进行采样以获得光强调制图像。本发明中，可变方位角的波片椭偏仪结构简单、稳定且能快速测量，可实现原位检测，在检偏臂调制单元采用波片单元，提高了测量的灵活性和适应性，能根据不同样品特性灵活调整波片方位角，对各类样品的光调制更有效，满足多样测量需求。