面向高密度光引擎的柔性波导耦合结构及其微型化封装方法

本发明面向高密度光引擎的柔性波导耦合结构及其微型化封装方法，采用聚合物光波导，波导芯层由高折射率的材料构成，由于芯层比上、下包层的折射率更高，使得光束能够在其表面或内部反射光线，从而将光束限制在芯层中沿着所设定的路径进行传输；将柔性波导用在高密度光引擎封装中，直接替代传统带状光纤阵列，解决空间受限与弯曲半径矛盾；包括柔性波导、MT/MPO连接器、微透镜阵列；柔性波导材料选用PMMA、BCB、SU‑8、FPPE、PSQ、PDMS/M‑PDMS等聚合物，厚度≤0.2mm,可弯曲半径≤2mm,芯/包层折射率差Δn≥0.01，多模数值孔径NA≈0.3，在850 nm窗口传输损耗≤0.25 dB/cm，耦合端面的角度40‑50°，满足短距并行光互连低损耗、高带宽需求。